《电子工业专用设备》杂志介绍
《电子工业专用设备》是由中国电子科技集团公司主管,中国电子科技集团公司第四十五研究所主办,国内外公开发行的科技期刊。国家一级检索期刊,是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录期刊,是万方数据资源系统数字化期刊群入网期刊。
本刊是以报道国内外半导体设备为主，反映微电子制造前、后道的新工艺、新设备在科研、技术工程和应用方面的发展趋势与成就的主要刊物。刊出的论文体现了技术上的先进性、方法上的新颖性、工程上的实用性、设计上的指导性、内容丰富、信息量大、涵盖面广、适用面宽，栏日设有：趋势与展望、专题报道、新设备与新工艺、封装技术与测量、设备改造与维护等。