电子工业专用设备2024年01期
- 趋势与展望
- 福建省碳化硅衬底专利技术现状与发展建议许鲜;
- 基于白名单的工控管理系统杜银学;郑栋娥;王金庚;马永军;虎成;
- 半导体制造工艺与设备
- 直线式共晶固晶机的设计与实现郑嘉瑞;
- 外延生长设备EFEM系统设计陈国钦;吴限;周立平;巴赛;
- 适用于器件制程的立式扩散/氧化设备设计与验证陈庆广;赵瓛;黄升;曾裕民;姬常晓;刘洪文;王成宇;彭浩;易文杰;
- 直流磁控溅射系统研究及其维护吴海;张文朋;王露寒;程壹涛;
- 材料制造工艺与设备
- 碳化硅长晶工艺中压力控制系统设计王宏杰;靳丽岩;李林高;王飞龙;
- 靶通道选择器研究与优化设计鲁彤;袁祖浩;李明;王佳方;何秋福;
- 国产碳化硅离子注入机的设计开发袁卫华;李进;罗才旺;许波涛;
- 柔性透明导电膜用UV胶的配方探讨徐丹丹;秦苏琼;陶军;瞿然;刘世国;
- VGF半绝缘GaAs单晶片的碱腐蚀特性研究于妍;吕菲;李纪伟;康洪亮;
- 电子专用设备研究
- 基于四象限传感器的物料自动校准策略研究常美榕;刁坤杰;周小水;刘嘉玮;史文明;
- 快慢自适应大夹持力机构设计及实验验证田世伟;周庆奎;赵宏亮;赵宝君;宋婉贞;班超;
- 柔性电子制造技术在叠压机设计中的应用研究杨志;武杰;
- 电机冷却水热时间常数模型分析及影响因素研究董丽坤;李树彦;崔晓兵;刘阳;范少峰;