电子工业专用设备2023年06期_最新目录

电子工业专用设备2023年06期

趋势与展望
微系统封装关键工艺设备发展现状及国产化分析罗天;刘佳甲;石倩楠;
测试测量技术与设备
基于微弱信号检测的有源滤波器设计路春;王思佳;
照明倾斜对显微成像系统测量精度的影响张盼君;申淙;王婷婷;
基于数据有效性切换控制回路的方法研究陈沿宇;陈国兴;任妍;步石;
平面测量多项式扫描路径规划算法杨宇翔;杜婷婷;王朝宇;林佳;于芳;何宇帆;
矢量网络分析仪校准与程控研究包敖日格乐;左宁;胡奇威;张光宇;张铎;
半导体制造工艺与设备
共焦式磁控溅射设备研制及工艺验证黄也;何秋福;石任凭;龚俊;王建青;肖晓雨;尹联民;佘鹏程;
对准系统的Z向串扰解决方案王朝宇;申淙;杨宇翔;杜婷婷;林佳;李林;
蒙特卡罗粒子输运模拟在离子注入研发中的应用李进;吴悦;郭静;王肇龙;喻晓;
一种晶圆预对准系统硬件电路设计李晓勇;刘强;
电子专用设备研究
多轴精密运动台前馈控制器参数整定方法王俊杰;陈国兴;步石;杨际腾;徐竟;
胶接铝合金界面断裂韧性试验及数值研究赵宏宇;田世伟;李龙飞;侯得锋;李海彬;
基于MEF技术的设备控制软件界面平台设计与实现张金环;张叶;马春华;张继静;
CVD设备水冷循环系统的计算及设计石磊;袁祖浩;巴赛;胡志坤;胡凡;刘柱;万胜强;
基于加速度计的前馈补偿方法陈曦;陈国兴;步石;丁彦杰;肖楠;
三自由度并联调平机构运动特性分析程一启;李龙飞;赵宏宇;景亚慧;王月鹏;

高精密运动台直线电机温度模拟与实验研究王洪洲;时连辉;崔晓兵;董丽坤;范少峰;
异形节流孔对气浮性能的影响研究王子坤;李建辉;赵宏亮;董丽坤;赵豹杰;
基于NX与MATLAB的运动台刚柔耦合模型的建模与仿真杨凌光;刘帅;张金;郭威;陶金雨;
其它
《电子工业专用设备》第52卷（2023）总目次--