电子工业专用设备2023年04期_最新目录

电子工业专用设备2023年04期

趋势与展望
集成产品开发管理在智能制造装备企业中的应用吴洪坤;
基于数字化技术的碳基材料制造系统研究于丽君;马秀;贾新瑞;赵宇飞;符壮;
半导体装备工程化批产脉动生产线技术应用与研究谢于柳;何远湘;赵■;刘洪文;黄升;任哲;
先进光刻技术与设备
纳米压印光刻工艺及其制造设备李俊;
等离子去胶机的结构原理与维护调试和故障分析杨博;郝晓亮;赵英伟;
材料制造工艺与设备
基于Opera-3D软件的碳化硅离子注入机光路设计与仿真颜秀文;孙勇;彭立波;刘圣;阳王东;唐卓;
端部离子源提升SiC器件金属膜层结合牢固度的研究张春胜;葛荣祥;钱志成;申强;
高性能分子束外延用束源炉的研制龚欣;陈峰武;吕文利;陈丹■;周亮;龚肖;
先进封装技术与设备
直线模组运动精度补偿在预键合中的应用陈磊;仉振;张鹏;
半导体塑封压机的自动化工艺技术应用赵松;汪宗华;何成国;杨韬;曹玉堂;
集成电路封装设备翻转机构原理及控制方法杨韬;汪瑞;汪宗华;宋春雷;赵松;曹玉堂;
电子专用设备研究
晶圆划片机气浮主轴的常见问题及其处理方法王英杰;
支撑机构对工作台振动传递率的影响李龙飞;赵宏宇;关宏武;李树彦;
基于遗传算法的降低仓储系统运行噪声方案优化刘洪涛;王丽春;王晋强;
基于三阶速度和四阶位移的轨迹规划方法研究（续）李红钢;陈曦;王俊杰;贾闯;卢孟;

便携式γ射线照射装置质量特性设计与测试（续）李莉;丁雨阳;王子琳;寇宁宁;陈义珍;高飞;